የቫኩም ክፍሎች

የሙቀት ሕክምና በዋነኛነት ኦክሳይድ, ስርጭት እና አነቃቂ ሂደቶችን ያጠቃልላል.ኦክሳይድ (Oxidation) የሲሊኮን ዋይፋሪዎች ከፍተኛ ሙቀት ባለው ምድጃ ውስጥ የሚቀመጡበት እና ኦክስጅንን በመጨመር ከእነሱ ጋር ምላሽ በመስጠት በቫፈር ላይ ሲሊኮን እንዲፈጠር የሚያደርግ ተጨማሪ ሂደት ነው።ሥርጭት ማለት በሞለኪውላዊ የሙቀት እንቅስቃሴ አማካኝነት ንጥረ ነገሮችን ከከፍተኛ የማጎሪያ ቦታ ወደ ዝቅተኛ የማጎሪያ ክልል ማዛወር ነው ፣ እና የማሰራጨቱ ሂደት በሲሊኮን ንኡስ ክፍል ውስጥ የተወሰኑ ዶፒንግ ንጥረ ነገሮችን ለማዳበር ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል ፣ በዚህም የሴሚኮንዳክተሮችን እንቅስቃሴ ይለውጣል።